| dc.contributor.advisor |
Pálka, Karel |
|
| dc.contributor.author |
Kurka, Michal
|
|
| dc.date.accessioned |
2019-06-18T08:09:03Z |
|
| dc.date.available |
2019-06-18T08:09:03Z |
|
| dc.date.issued |
2019 |
|
| dc.date.submitted |
2019-05-07 |
|
| dc.identifier |
Univerzitní knihovna (studovna) |
cze |
| dc.identifier.uri |
https://hdl.handle.net/10195/73365 |
|
| dc.description.abstract |
Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů. |
cze |
| dc.format |
78 s. |
|
| dc.language.iso |
cze |
|
| dc.publisher |
Univerzita Pardubice |
cze |
| dc.rights |
bez omezení |
cze |
| dc.subject |
chalkogenidová skla |
cze |
| dc.subject |
tenké vrstvy |
cze |
| dc.subject |
elektronová litografie |
cze |
| dc.subject |
chalcogenide glasses |
eng |
| dc.subject |
thin films |
eng |
| dc.subject |
electron beam lithography |
eng |
| dc.title |
Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie |
cze |
| dc.title.alternative |
Structuring of As50Se50 chalcogenide glass thin films by electron beam lithography |
eng |
| dc.type |
diplomová práce |
cze |
| dc.contributor.referee |
Mistrík, Jan |
|
| dc.date.accepted |
2019-06-03 |
|
| dc.description.abstract-translated |
This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were studied. |
eng |
| dc.description.department |
Fakulta chemicko-technologická |
cze |
| dc.thesis.degree-discipline |
Materiálové inženýrství |
cze |
| dc.thesis.degree-name |
Ing. |
|
| dc.thesis.degree-grantor |
Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická |
cze |
| dc.identifier.signature |
D39336 |
|
| dc.thesis.degree-program |
Chemie a technologie materiálů |
cze |
| dc.description.defence |
Diplomant seznámil komisi se svojí diplomovou prací.
Dále reagoval na připomínky oponenta.
Zodpověděl otázky členů komise:
Diskutujte grafickou závislost urychlovacího napětí. |
cze |
| dc.identifier.stag |
37951 |
|
| dc.description.grade |
Dokončená práce s úspěšnou obhajobou |
cze |
