Chalcogenide glasses are intensively studied materials due to their interesting optical properties such as high values of refractive index, wide transparency in IR, photosensitivity, etc.We report on the comparison of photo and thermo-induced changes in optical properties and chemical resistance of thermally evaporated and spincoated As30S45Se25 thin films. Significantly different trends of photo-induced changes in chemical resistance in both types of thin films such as negative etching of thermally evaporated thin films and positive etching of spin-coated thin films were observed. The structural changes responsible for the observed phenomena were investigated as well.
eng
dc.format
p. 104-109
eng
dc.language.iso
eng
eng
dc.relation.ispartof
Journal of Non-Crystalline Solids, volume 447, issue: September 2016
eng
dc.rights
embargoed access
eng
dc.subject
Chalcogenide glasses
eng
dc.subject
Selective etching
eng
dc.subject
Thin films
eng
dc.subject
Chalkogenidová skla
cze
dc.subject
selektivní leptání
cze
dc.subject
tenké vrstvy
cze
dc.title
Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films
eng
dc.title.alternative
Selektivní leptání tenkých vrstev složení As30S45Se25 připravených spin-coatingem a vakuovým napařováním
cze
dc.type
article
eng
dc.description.abstract-translated
Chalkogenidová skla jsou intenzivně studované materiály díky jejich zajímavým optickým vlastnostem.V této práci se zabýváme studiem foto a termoindukovaných změn v optických vlastnostech a chemické odolnosti vakuově napařených a spin-coatingovaných tenkých vrstev složení As30S45Se25. Byly pozorovány výrazně odlišné trendy ve fotoindukovaných změnách optických parametrů a chemické odolnosti ve studovaných tenkých vrstvách (pozitivní leptání spin-coatingovaných tenkých vrstev a negativní leptání vakuově napařených). Taktéž byly studovány změny ve struktuře.
