| dc.contributor.advisor |
Vlček, Miroslav |
|
| dc.contributor.author |
Kubját, Richard
|
|
| dc.date.accessioned |
2016-09-02T04:25:08Z |
|
| dc.date.available |
2016-09-02T04:25:08Z |
|
| dc.date.issued |
2016 |
|
| dc.date.submitted |
2016-07-11 |
|
| dc.identifier |
Univerzitní knihovna (studovna) |
cze |
| dc.identifier.uri |
http://hdl.handle.net/10195/65610 |
|
| dc.description.abstract |
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu leptání. |
cze |
| dc.format |
46 s. |
cze |
| dc.language.iso |
cze |
|
| dc.publisher |
Univerzita Pardubice |
cze |
| dc.rights |
Práce není přístupná |
|
| dc.subject |
chalkogenidová skla |
cze |
| dc.subject |
systém As-S |
cze |
| dc.subject |
tenké vrstvy |
cze |
| dc.subject |
selektivní leptání |
cze |
| dc.subject |
chalcogenide glasses |
eng |
| dc.subject |
system As-S |
eng |
| dc.subject |
thin films |
eng |
| dc.subject |
selective wet-etching |
eng |
| dc.title |
Selektivní leptání As-S vrstev |
cze |
| dc.title.alternative |
Selective etching of As-S thin films |
eng |
| dc.type |
bakalářská práce |
cze |
| dc.date.accepted |
2016-08-22 |
|
| dc.description.abstract-translated |
This Bachelor´s paper deals with preparation of chalcogenide thin films of system As-S and with study of their selective wet-etching in different etching baths. Thin films of As40S60, As35S65 and As30S70 compositions were prepared by vacuum deposition method. Influence of exposure and/or annealing on their dissolution rate in amine bases as well as influence of composition and concentration of amine solutions were studied. |
eng |
| dc.description.department |
Fakulta chemicko-technologická |
cze |
| dc.thesis.degree-discipline |
Chemie a technická chemie |
cze |
| dc.thesis.degree-name |
Bc. |
|
| dc.thesis.degree-grantor |
Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická |
cze |
| dc.identifier.signature |
D35564 |
cze |
| dc.thesis.degree-program |
Chemie a technická chemie |
cze |
| dc.identifier.stag |
27094 |
|
| dc.description.grade |
Dokončená práce s úspěšnou obhajobou |
cze |
