Molybdenum diselenide thin films grown by atomic layer deposition: An XPS analysis

Rodriguez Pereira, Jhonatan; Zazpe, Raul; Charvot, Jaroslav; Bureš, Filip; Macák, Jan

Digitální knihovna UPCE
→
Univerzita Pardubice
→
Publikační činnost akademických pracovníků UPCE / UPCE Research Outputs
→
Zobrazit záznam

dc.contributor.author	Rodriguez Pereira, Jhonatan	cze
dc.contributor.author	Zazpe, Raul	cze
dc.contributor.author	Charvot, Jaroslav	cze
dc.contributor.author	Bureš, Filip	cze
dc.contributor.author	Macák, Jan	cze
dc.date.accessioned	2021-05-15T18:18:22Z
dc.date.available	2021-05-15T18:18:22Z
dc.date.issued	2020	eng
dc.identifier.issn	1055-5269	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10195/77052
dc.description.abstract	Molybdenum diselenide (MoSe2) thin films were deposited on annealed titanium foils by atomic layer deposition using suitable precursors. In this paper, a detailed x-ray photoelectron spectroscopy analysis of the MoSe2 film is presented. Survey spectra, Mo 3d, Se 3d, Mo 3p, Se LMM, Se 3p, C 1s, and Se 4s core level along with the valence band spectra were measured. Quantitative analysis indicates a surface composition of MoSe1.8, suggesting a deficiency of selenium on the surface.	eng
dc.format	"024006-1"-"024006-8"	eng
dc.language.iso	eng	eng
dc.publisher	American Institute of Physics	eng
dc.relation.ispartof	Surface Science Spectra, volume 27, issue: 2	eng
dc.rights	bez omezení	cze
dc.subject	MoSe2	eng
dc.subject	transition metal dichalcogenides	eng
dc.subject	thin films	eng
dc.subject	2D material	eng
dc.subject	XPS	eng
dc.subject	MoSe2	cze
dc.subject	dichalkogenidy přechodných prvků	cze
dc.subject	tenké vrstvy	cze
dc.subject	2D materiály	cze
dc.subject	XPS	cze
dc.title	Molybdenum diselenide thin films grown by atomic layer deposition: An XPS analysis	eng
dc.title.alternative	Tenké vrstvy MoSe2 připravené depozicí atomárních vrstev: XPS analýzy	cze
dc.type	article	eng
dc.description.abstract-translated	Tenké vrstvy selenidu molybdenatého (MoSe2) byly deponovány na vyžíhané titanové fólie pomocí depozice atomárních vrstev s využitím vhodných prekursorů. V článku popisujeme detailní analýzu těchto vrstev pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS). V přehledovém spektru byly měřeny struktury jader Mo 3d, Se 3d, Mo 3p, Se LMM, Se 3p, C 1s, and Se 4s a také spektra valenčních pásů. Kvantitativní analýza indikovala povrochové složení MoSe1.8, které poukazuje na nedostatečné množství Se v povrchové vrstvě.	cze
dc.peerreviewed	yes	eng
dc.publicationstatus	preprint	eng
dc.identifier.doi	10.1116/6.0000354	eng
dc.relation.publisherversion	https://avs.scitation.org/doi/full/10.1116/6.0000354	eng
dc.identifier.wos	000564178000001	eng
dc.identifier.scopus	2-s2.0-85090291834
dc.identifier.obd	39884895	eng